精密技術相對于精密加工，一般精密加工精度為1~0.1μm，表面粗糙度為0.1~0.025μm;超精密加工精度可在0.1μm以內，表面粗糙度可在0.025μm以內。隨著技術的發展，超精密加工已進入納米級。
精密加工技術可分為超精密車削技術、超精密銑削技術、超精密磨削技術、表面鏡面拋光技術和超精密特種加工技術，以及現階段相應的加工方法的精度范圍。
當某些典型部件進行超精密加工時，有時會單獨提出該部件的名稱。作為這類部件超精密加工的一類技術總稱，如大型光學非球形部件超精密加工技術，涵蓋了超精密加工技術領域的許多技術技術。
從20世紀50年代到80年代，超精密加工主要用于航空航天、天文學等領域，實現球面的制造。在此期間，美國率先開展了以單點金剛石切割為代表的超精密加工技術。
此外，設備精度逐漸接近納米水平。加工工件的范圍越來越廣。隨著數控技術的發展，超精密五軸銑削和飛行切割技術可以實現對稱非球面等復雜零件的制造。
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